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一、仪器特点：
¯ 高效：单个、或多个产品随机摆放，按一键即完成测量；
¯ 降低人力成本：测量不再过度依赖专业测量人员，任何人可操作；
¯ 节约物料成本：助力巡检力度，避免物料浪费；
¯ 软、硬件自主：售后的有力保障；
¯ 调配（可选）：同一设备，两种倍率秒切换，极大提升利用率；
¯ 特有功能：构造轮廓、剪切轮廓、轮廓比对，轻松识别最高点、最低点，极小（微）台阶间距自动测量等；
¯ 数据统计：格式自定义，可输出SPC分析报告，可输出CA，PPK，CPK，PP便于分析。
二、技术参数：
型号 | TZ-200 |
相机 | 500万像素 高清CCD |
镜头 | 双远心镜头 |
图像 测量 | 测量视野 | 广视野测量模式 | 195mm X 80mm |
高精度测量模式 | 125mm X 28mm |
重复精度 | 单画面测量 （工作台不移动） | 广视野模式 | ±0.5um |
高精度模式 | ±0.1um |
拼接测量
（工作台移动） | 广视野模式 | ±1um |
高精度模式 | ±0.5um |
测量精度 | 单画面测量 （工作台不移动） | 广视野模式 | ±5um |
高精度模式 | ±3um |
拼接测量
（工作台移动） | 广视野模式 | ±（7+L/50）um |
高精度模式 | ±（3+L/50）um |
显示分辨率 | 0.1um |
照明系统 | 透射光源 | 远心平行光照明 |
落射光源 | 环状无影光源照明 |
落射光源 | 低角度光照明 |
落射光源 | 同轴光照明 |
XY工作台 | 移动范围 | X 100mm Y不移动 |
承受负重 | 3.0kg |
Z坐标台 | 移动范围 | 60mm(电动） |
电源 | 电源电压 | 220VAC/50Hz |
功率 | 100W |
其它 | 重量 | 约35kg |
外观尺寸 | 450mmx315mmx750mm |
